射频反应磁控溅射

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在衬底基体上,采用各种制膜技术,沉积一层薄膜所制得的超导材料。超导薄膜在超导材料中占...磁控溅射原理是,工作气体Ar气在直流或射频电场下产生辉光电离,靶表面的封闭磁力线将电子束缚在靶前的电子陷阱中,增加Ar气电离度。Ar+在电场下加速撞 ...

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