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在半导体工艺中,钝化是指在硅片或半导体器件芯片的表面淀积或生长特定的介质膜,以防止表...表面沾污离子、界面态电荷、介质层内的可动电荷和固定电荷都会影响半导体的表面电势，从而引起表面层中载流子的积累，耗尽，或者使表面层反型，并引起金属-绝 ...
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