氮化钛
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金黄色立方晶系结晶。分子量61.89。...氮化钛晶须用于增强金属基和陶瓷基复合材料。由钛和氮在1200℃反应制得。由氯化钛-氮-氢三种气体混合物，通过气相沉积法在基体上形成膜，还有离子镀、阴极电弧、磁控溅射等工艺方法。

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离子束辅助沉积氮化钛陶瓷薄膜的生物相容性研究
采用离子束辅助沉积 (Ion Beam Assisted Deposition)方法在医用不锈钢 317L表面制备氮化钛 (Ti N)陶瓷薄膜 ,并利用 AES和 XRD表征了薄膜的成分和相组成。采用...

《透析与人工器官》 2003年03期关键词: "离子束辅助沉积(IBAD)"," 氮化钛(TiN)"," 耐腐蚀"," 细胞体外培养" 收藏
射频功率占比对氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响
本研究主要利用射频耦合直流磁控溅射技术,在室温下用TiO2陶瓷靶在玻璃基底上制备N掺杂到TiO2薄膜。同时也利用光学轮廓仪、X射线衍射、扫描电子显微镜、X射线光电子能谱和紫外可见光分光光度计研究了不同...

《真空》 2020年01期关键词: "2薄膜",")&#xA"," >TiO2薄膜"," 射频功率占比"," 直流耦合" 收藏