化学气相沉积
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通过气相进行的化学反应制取金属及金属化合物的特殊制品和提纯金属或金属化合物的方法。...而还原反应在加热至一定温度的基底上进行时，反应产生的金属便可在基底上形成金属涂层或按基底形状的不同形成具有一定形状的金属制品。此外，利用碘化物热离解反 ...

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前驱体温度对激光化学气相沉积YBa₂Cu₃O_7-δ超导薄膜结构及性能的影响
采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱...

《材料科学与工艺》 2020年02期关键词: "激光化学气相沉积"," 7-δ薄膜","","Mjg5ODVoOFdqZTNOVzNsaTdUeDhTWGZtMmhCRGY4RGhNN09iQ09SdkZDbmtXNzdNSVYwV2JCQ0tQQy9xSE1EOUhhNmp0NGhZOA==)","&#xA"," >YBa2Cu3O7-δ薄膜"," 高速沉积" 收藏