热丝化学气相沉积

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碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...热丝化学气相沉积法HFCVD HFCVD法是在传统的CVD法设备中,在基片上方约10mm处加一根钨丝,用来离解CH4—H2混合气体。离解后的气体主要 ...

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