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一种半导体薄膜材料制备工艺。在超高真空下,从束源喷射炉中蒸发出来的不同组元的原子束...80年代以来，分子束外延根据所采用的Ⅲ族和Ⅴ族束源材料形态的不同又发展了气态源分子束外延（GSMBE）、金属有机物分子束外延（MOMBE）、化学束外延 ...
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