类金刚石薄膜
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碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...虽然目前用此法沉积的金刚石薄膜只有几个平方毫米大小，但从金刚石喷射法的原理可知，要用它获得大面积金刚石薄膜是比较容易的。射频等离子体化学气相沉积法（ ...

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界面调控对类金刚石碳基薄膜在甲烷气氛下摩擦学性能的影响
在甲烷气氛下,利用不同材质摩擦副与非晶碳(a-C)基薄膜构成不同的自配副与非自配副摩擦体系,构建出不同的滑动界面,通过研究非晶碳(a-C)基薄膜与不同摩擦副对摩时的摩擦学行为,分析探索滑动界面对体系摩...

《摩擦学学报》 2020年02期关键词: "类金刚石薄膜"," 甲烷"," 摩擦"," 滑动界面"," 钝化" 收藏