溅射

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本文研究反应磁控溅射法在双轴织构Ni-5at.%W(NiW)金属基底上动态外延生长Y2O3和Gd2Zr2O7(GZO)及其对后续氧化物和超导层织构的影响.证实了动态磁控溅射Y2O3是十分有效的种子层材...

《低温物理学报》 2013年05期 关键词: "磁控溅射"," 种子层"," Y2O3"," 涂层导体"," YBCO" 收藏

研究了恒定气压下、通入不同气体流量对射频磁控溅射原位沉积氮化铝(AIN)薄膜应力、结晶质量和表面形貌的影响。利用应力分析仪、X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对AIN薄膜的结构特性进行...

《压电与声光》 2014年2期 关键词: "溅射","氮化铝(","AIN)簿膜","通入气体流量","结构特性" 收藏

利用MS500-B超高真空磁控溅射镀膜机，分别采用氧化法和还原法在普通玻璃基底上制备了二氧化钒(V02)相变薄膜；并在20～80℃内往复变化时，利用XMT-100数字精密温度计和SX19 34数字四探...

《压电与声光》 2014年2期 关键词: "直流磁控溅射","二氧化钒(V02)薄膜","退火" 收藏

采用直流磁控溅射在(0001)蓝宝石基片上制备Sc掺杂AIN (ScAIN)薄膜，所用靶材是ScAl合金靶(Sco．06 Alo．94)。通过X线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)测量其结晶取向和...

《压电与声光》 2015年4期 关键词: "AIN薄膜","蓝宝石","晶体结构","表面形貌","压电材料" 收藏

摘 要： 基于Ba x S r1-x TiO 3 （BST） 在微波调制器件上的应用， 采用射频磁控溅射在Si衬底上制备了BST铁电薄膜， 利用透射电子显微镜 （TEM） 对 薄膜的内部结构进行了分析...

《科技创新导报》 2015年1期 关键词: "BST薄膜","磁控溅射","TEM" 收藏

磁控溅射技术因为其自身所具有的显著优点，已经被越来越广泛的运用于各个领域，其中以工业镀膜方面的应用最为广泛，相应的其生产技术也得到了很大的改进。文章着重讲述磁控技溅射技术的原理，特点以及磁控溅射技术的...

《科技创新与应用》 2015年2期 关键词: "镀膜技术","磁控溅射","平衡磁控溅射","非平衡磁控溅射" 收藏

利用直流反应磁控溅射法在Si，N。陶瓷基体上制备了TiN导电薄膜。采用X射线衍射仪( XRD)、扫描电镜(SEM)和电子能谱(EDS)对薄膜的物相组成以及表面形貌进行分析，表明TiN薄膜均匀，且与基体...

《现代技术陶瓷》 2015年1期 关键词: "TiN","Si","N4","厚度","方阻" 收藏

采用射频磁控溅射的方法在Si（100）衬底上生长了AlN:Er薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分别对薄膜晶体取向和表面形貌进行了表征,并测量了薄膜的光致发光（PL）光谱。结果...

《稀有金属》 2020年02期 关键词: "射频磁控溅射"," AlN:Er"," 择优生长"," 晶格扩张" 收藏

采用高温退火处理无机全固态薄膜与WO3膜层,分析其在高温条件下电致变色性能的改变机制。结果表明:温度升高至250℃时,薄膜反射率变化量未发生显著改变,温度进一步升高,薄膜反射率的变化量快速降低。低于2...

《粉末冶金工业》 2020年01期 关键词: "反射式无机全固态薄膜"," 电致变色"," WO3薄膜"," 退化机理" 收藏

采用磁控溅射技术在硅基底上交替沉积WSx、W以及DLC膜层制备WSx/W/DLC/W多层膜。利用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等对多层膜的微观结构和力学性能进行了表征,使用球盘式摩擦磨损试验机测试...

《稀有金属材料与工程》 2020年04期 关键词: "WS_x"," 类金刚石碳膜"," W"," 多层膜"," 摩擦磨损" 收藏