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用物理和化学分析法检测半导体材料的性能和评价其质量的方法。它对探索新材料、新器件和...杂质检测半导体晶体中含有的有害杂质，不仅使晶体的完整性受到破坏，而且也会严重影响半导体晶体的电学和光学性质。另一方面，有意掺入的某种杂质将会改变并改善 ...
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