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720系列放大式压电加速度计技术特性参 数单位指 标722 724 726动态特性灵...生产厂家:美国WR公司732高频加速度计技术特性参数单位指标动态特性灵敏度±5%;25℃加速度范围幅值非线性度频率响应±5%±3dB安装共振频率,正 ...
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对于广泛采用的压阻式微加速度计,在传统工艺下,提高量程和固有频率意味着增加梁厚,减小应力, 而提高灵敏度又要求减小梁厚,这是相互矛盾的。设计了一种4边4梁结构的高过载压阻式微加速度计,在传...
《压电与声光》 2015年1期 关键词: "压阻式微如速度计","延伸梁","阻尼","压阻元件","版图设计" 收藏
微加速度计用于测量载体的加速度,并提供相关的速度和位移信息。该文主要对一种硅基压阻式高 加速度g( g=9.8 m/s2)值微加速度计在冲击加速度环境下进行有限元仿真分析。分析结果表明,所...
《压电与声光》 2015年2期 关键词: "高g值微加速度计","高速冲击","有限元仿真","结构应力","失效模式" 收藏
微加速度计是MEMS的关键部分之一.为保证微加速度计工作时的精确性和稳定性,对其进行动力学特性分析具有十分重要的理论意义.通过建立系统等效模型,再从悬臂梁的振动特性和气动性能等两部分进行了研究.对于振...
《陕西科技大学学报(自然科学版)》 2015年1期 关键词: "MEMS","微加速度计","微悬臂梁","振动特性","气动性能" 收藏
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