发光面

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emitting surface

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  • 电化学法与ELISA测定乙肝表抗体结果的比较

    目的比较电化学发光法和酶联免疫法在定量检测乙肝表面抗体(HBsAb)中的应用。方法用E411化学发光分析仪及原装试剂,对180例患者血清用电化学发光法(ECLIA)和酶联免疫法(ELISA)检测HBs...

    《热带医学杂志》 2014年08期 关键词: "乙肝表面抗体"," 电化学发光法"," 酶联免疫法" 收藏

  • 用于垂直腔射激器的GaAs/AlGaAs的ICP刻蚀工艺研究

    采用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备对应用于垂直腔面发射激光器的GaAs/AlGaAs材料进行刻蚀工艺研究。该刻蚀实验采用光刻胶作为刻蚀掩模,Cl2/BCl3作为刻蚀工艺气体,通过实验分析总结了IC...

    《中国激光》 2020年04期 关键词: "激光光学"," 垂直腔面激光发射器"," 电感耦合等离子体刻蚀"," 圆台结构"," GaAs/AlGaAs材料" 收藏

  • 垂直腔射激器中GaAs/AlGaAs的选择性刻蚀技术研究

    在氧化物限制型垂直腔面发射激光器制备中,刻蚀GaAs/AlGaAs时因异质型材料常出现选择性内蚀现象,这会直接影响后续的氧化工艺及电极钝化的效果。针对因选择性内蚀而出现的"镂空"现象,对湿法刻蚀工艺和...

    《中国激光》 2020年04期 关键词: "激光技术"," 垂直腔面发射激光器"," GaAs/AlGaAs"," 湿法刻蚀"," 感应耦合等离子体刻蚀"," 选择性内蚀"," 镂空" 收藏

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