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在衬底基体上,采用各种制膜技术,沉积一层薄膜所制得的超导材料。超导薄膜在超导材料中占...这些超导薄膜都属于金属薄膜和金属间化合物。1986年4月巴德诺尔(J.G.Bednorz)和默勒(A.Mueller)首先发现了钙钛矿层状结构的La ...
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采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱...
《材料科学与工艺》 2020年02期 关键词: "激光化学气相沉积"," 7-δ薄膜","","Mjg5ODVoOFdqZTNOVzNsaTdUeDhTWGZtMmhCRGY4RGhNN09iQ09SdkZDbmtXNzdNSVYwV2JCQ0tQQy9xSE1EOUhhNmp0NGhZOA==)","
"," >YBa2Cu3O7-δ薄膜"," 高速沉积" 收藏
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