刻工

更新时间:-- | 阅读量: 156

穿透硅通孔技术是实现3D集成封装的关键技术之一,而交替复合深刻蚀技术是实现穿透硅通孔的重要方式。本文分别采用CF4、C4F8和O2研究交替复合深刻蚀中的钝化工艺,用X射线能谱测试仪分析了不同气体在硅表...

《科技创新与应用》 2013年21期 关键词: "穿透硅通孔(TSV)"," 交替复合深刻蚀"," 钝化工艺" 收藏

直流自我偏压作为高密度射频(RF)等离子体刻蚀工艺中的重要电学参数，反映出具有高能量的离子对待刻蚀晶片的轰击效果，后者决定了刻蚀工艺的各向异性、刻蚀速率、选择比及形貌特征等工艺结果。该文以HBr作为刻...

《压电与声光》 2014年5期 关键词: "","ICP刻蚀系统","离子源功率","衬底偏压功率","刻蚀压力","气体流量","直流偏压" 收藏

激光标刻是产品标识的一种重要手段，其特点是在产品上刻上永久性的标识。文章针对尼龙壳体激光标记出现图形、字迹模糊，不清晰的问题，在分析产生问题原因的基础上，通过对不同标刻方法、不同标刻参数的多次实验研究...

《科技创新与应用》 2015年26期 关键词: "激光标刻","尼龙材料","标刻工艺" 收藏

随着我国对教育投入以及高等院校的扩招，有限的教育资源已经无法满足现在要求。因此学校的建设工程十分普遍。而在建设工程的管理过程中其造价管理占到一定的比例，在一定程度上决定了建设管理施工的管理水平以及建筑...

《工程管理前沿》 2015年12期 关键词: "学校建设","工程造价管理","造价控制" 收藏

<p>一直以来，传统石雕都由石雕艺人自己设计（往往是画稿）、自己雕凿独立完成，到目前为止很多石雕艺人仍然沿用此法。</p>

《建材发展导向》 2015年12期 关键词: "石雕的雕刻工序介绍" 收藏

从邓小平文艺理论、邓小平思想教育理论、邓小平军队政治工作理论三个方面分析邓小平军队文化工作理论的理论渊源，认为邓小平新时期军队文化工作理论的科学内涵是军队文化工作的重要性、继承性、人民性和政治性。邓小...

《辽宁师范大学学报（社会科学版）》 2015年4期 关键词: "邓小平理论","军人","军队文化工作","文艺","历史定位","继承创新" 收藏

采用电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备对应用于垂直腔面发射激光器的GaAs/AlGaAs材料进行刻蚀工艺研究。该刻蚀实验采用光刻胶作为刻蚀掩模,Cl2/BCl3作为刻蚀工艺气体,通过实验分析总结了IC...

《中国激光》 2020年04期 关键词: "激光光学"," 垂直腔面激光发射器"," 电感耦合等离子体刻蚀"," 圆台结构"," GaAs/AlGaAs材料" 收藏

为了使用低成本的红外光纤激光器对蓝宝石进行高效率高质量的加工,采用激光诱导背向湿式刻蚀方法进行了理论分析和实验验证,研制了一种新型的活性高且稳定性高的混合溶液,硫酸铜的质量浓度为28g/L、次磷酸钠的...

《激光技术》 2020年01期 关键词: "激光技术"," 混合溶液"," 激光诱导背向湿式刻蚀"," 蓝宝石"," 成形切割" 收藏