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本文制作了栅极为金属Pt的AlGaN/GaN HEMT结构的氢气传感器。当外加偏压VGS=-2.5 V时,研究了传感器在不同温度（25-150℃）下对不同氢气浓度（25-900 ppm）的响应特性。研...
《真空科学与技术学报》 2020年01期 关键词: "Pt/AlGaN/GaN HEMT"," 氢气传感器"," 温度"," 灵敏度"," Langmuir吸附等温线" 收藏
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