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利用电子束抽运使氟化氪(KrF)混合气体工作物质形成激发态的KrF准分子而制成的KrF激光器。...由于可以获得大面积的电子束，加上采用多路抽运，因此激光气室的体积可以做得很大，容易得到大的输出能量。不过，由于KrF激光的饱和光强较小，约 ...
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