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王阳元,中国科学院院士,微电子学家,我国硅栅N沟道技术开拓者之一。在多晶硅薄膜物理和...研究了亚微米和深亚微米CMOS电路的硅化物/多晶硅复合栅和自对准复合栅结构及其应力分布，提出了相关工艺技术；建立了多晶硅发射极晶体管新的解析模型，成 ...
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