RF-MEMS
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李志坚,中国科学院院士,半导体物理学家,微电子学专家,教育家。在为清华大学创建半导体...（3）从1989年起，他在中国首先开展SOC（单片系统集成）和MEMS（微机械电子系统）技术的研究，主持了国家自然科学基金重大项目“系统集成的基础技 ...

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