光刻

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光刻胶剥离制程为TFT-LCD中重要的制程，其剥离效果及洗净程度将直接影响TFT质量，本文主要阐述了TFT- LCD 生产中光刻胶剥离制程可影响产品质量的问题，并根据产线的情况对这些问题产生原因进行...

《文化产业》 2014年1期 关键词: "光刻胶剥离","Mura","腐蚀","光刻胶残留" 收藏

<p>本文根据中国标本对更光巨螯螨、星形背刻螨和中华虫穴螨作了再描述。<br/></p>

《武夷科学》 2014年1期 关键词: "蜱螨亚纲","中气门口","巨螯螨科" 收藏

激光标刻是产品标识的一种重要手段，其特点是在产品上刻上永久性的标识。文章针对尼龙壳体激光标记出现图形、字迹模糊，不清晰的问题，在分析产生问题原因的基础上，通过对不同标刻方法、不同标刻参数的多次实验研究...

《科技创新与应用》 2015年26期 关键词: "激光标刻","尼龙材料","标刻工艺" 收藏

<p>钟情翰墨&nbsp; 篆刻时光</p>

《财富海西》 2015年7期 关键词: "钟情翰墨","篆刻时光" 收藏

采用电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备对应用于垂直腔面发射激光器的GaAs/AlGaAs材料进行刻蚀工艺研究。该刻蚀实验采用光刻胶作为刻蚀掩模,Cl2/BCl3作为刻蚀工艺气体,通过实验分析总结了IC...

《中国激光》 2020年04期 关键词: "激光光学"," 垂直腔面激光发射器"," 电感耦合等离子体刻蚀"," 圆台结构"," GaAs/AlGaAs材料" 收藏

为了使用低成本的红外光纤激光器对蓝宝石进行高效率高质量的加工,采用激光诱导背向湿式刻蚀方法进行了理论分析和实验验证,研制了一种新型的活性高且稳定性高的混合溶液,硫酸铜的质量浓度为28g/L、次磷酸钠的...

《激光技术》 2020年01期 关键词: "激光技术"," 混合溶液"," 激光诱导背向湿式刻蚀"," 蓝宝石"," 成形切割" 收藏

在氧化物限制型垂直腔面发射激光器制备中,刻蚀GaAs/AlGaAs时因异质型材料常出现选择性内蚀现象,这会直接影响后续的氧化工艺及电极钝化的效果。针对因选择性内蚀而出现的"镂空"现象,对湿法刻蚀工艺和...

《中国激光》 2020年04期 关键词: "激光技术"," 垂直腔面发射激光器"," GaAs/AlGaAs"," 湿法刻蚀"," 感应耦合等离子体刻蚀"," 选择性内蚀"," 镂空" 收藏