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氧化铟锡(In2O3∶Sn)是有机太阳能电池电极的关键材料,但由于In2O3∶Sn薄膜结晶所需的高温沉积条件,衬底的性能会降低,影响了太阳能电池的光电性能。本文在传统磁控溅射工艺中引入了一种新的等离子...
《节能技术》 2020年01期 关键词: "有机太阳能电池"," 氧化铟锡"," 等离子体轰击"," 结晶"," 光电性能" 收藏
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