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在衬底基体上,采用各种制膜技术,沉积一层薄膜所制得的超导材料。超导薄膜在超导材料中占...一般装有第二离子源产生负离子进行反应离子束溅射。如制备高Tc氧化物薄膜，可由第二离子源产生氧的负离子来调整薄膜中氧含量。化学气相沉积（CVD）这种在 ...
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