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expansion valve
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研制了一种新的声表面波控制开关的微阀。在128。YX -LiNb03基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波加热微槽内石蜡油,熔融其上方微腔内固体石蜡,石蜡由于相变化而体积膨胀,使得微腔顶部的聚二甲基硅...
《压电与声光》 2014年6期 关键词: "微阀","热膨胀","声表面波","微通道","微流器件" 收藏
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