TiAlN薄膜
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目前梯度材料的制备方法主要有气相沉积法、溅射法、粒子排列法、离心铸造法和电沉积...溅射法是在双靶或多靶（磁控）共溅射的基础上通过控制各靶的溅射速率控制溅射薄膜的成分梯度，利用此类方法已制备出TiAlN-TiN、TiN-Ti等。粒子排列法 ...

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电弧离子镀TiN 和TiAlN 薄膜的机械性能研究
采用电弧离子镀在高速钢表面沉积TiN和TiAlN薄膜，并比较两种薄膜的机械性能。为模拟实际生产情况，利用对外开展技术服务的机会，沉积薄膜同时在真空腔室内放置近1 000 支冲棒。...

《温州职业技术学院学报》 2015年1期关键词: "电弧离子镀","TiN","TiAlN","薄膜","沉积","硬度","结合力" 收藏