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王阳元,中国科学院院士,微电子学家,我国硅栅N沟道技术开拓者之一。在多晶硅薄膜物理和...康晋锋.超深亚微米集成电路中的互连问题——低k介质与Cu互连集成技术.半导体学报，2002.23（11）：1121—113428Wang，Yang ...
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