光栅参数测量

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由北京机床研究所研制生产的J1Ⅰ型和J1Ⅱ型光栅线位移传感器可与SX0.41、SX0.42或NP3...②最大允许误差:系统分辨率为10μm,5μm时,在1000mm内为±10μm。系统分辨率为2μm、1μm时,在1000mm内为±8μm ...

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