离子辅助沉积

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李恒德,材料科学家。我国最早从事核材料研究的学者之一。...1985年他看准了离子束辅助沉积(IBAD)技术,在他的领导下建立起我国自制的一台多功能离子束辅助沉积装置,有很多研究生利用这一装置完成了他们的学位论文。这一功能较多的装置也为某 ...

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