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plasma-enhanced chemical vapour deposition等离子体增强化学蒸气积附(法)
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本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成Si Nx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法。
《自动化技术与应用》 2015年02期 关键词: "PECVD"," 钝化"," 太阳电池"," 多晶硅" 收藏
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