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在不断均匀剥蚀的情况下进行SIMS分析,可以得到各种成分沿深度方向的分布。图6-4-33为...理想界面的深度分布应为阶梯形，实测分布见图6-4-34，其微分呈正态分布（误差函数），如图虚线所示。当离子流强度从84%降至16%时，相应的深 ...
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