制造缺陷
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manufacturing defect

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紫外熔石英元件高精度低缺陷控形控性制造技术研究进展
传统的紫外熔石英元件加工方法本身会引入各类制造缺陷,需要后期加工来消除前期加工带来的缺陷,限制了熔石英元件的加工质量和加工效率。针对这些问题,课题组提出了采用磁流变、离子束、保形光顺和流体动压抛光等可...

《强激光与粒子束》 2020年03期关键词: "熔石英元件"," 高精度"," 低缺陷"," 纳米精度"," 表面控形制造"," 本征表面" 收藏