悬臂梁阵列
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耦合型超薄悬臂梁阵列释放工艺分析
针对耦合型超薄悬臂梁阵列释放过程中发生的粘附现象，采用背面湿法腐蚀的释放工艺，研究了液体表面张力对悬臂梁释放时的影响。通过改变悬臂梁释放时的液体环境和清洗方法，降低液体表面张力，避免悬臂 ...

《压电与声光》 2015年1期关键词: "超薄悬臂梁","释放工艺","粘附现象","表面张力" 收藏