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测定晶片的直径、厚度、总厚度变化、弯曲度、参考面长度和抛光片的平整度等几何参数是半...图4半导体晶片厚度和总厚度变化扫描法测量的扫描路径示意图O—探头位置；→—探头的扫描轨迹，数字表示顺序弯曲度晶片的弯曲度指处于自由无夹持状态下的晶片， ...
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