湿法腐蚀工艺
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按照烟气和循环吸收浆液在吸收塔内的相对流向,可将吸收塔分成逆流塔和顺流塔两大类(见...（三）填料吸收塔在湿法FGD工艺中，较早采用的是喷淋吸收塔，由于当时喷嘴材料、结构工艺不过关，腐蚀、堵塞问题严重，喷淋效果不理想，脱硫效率低，逐渐被填 ...

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ST-石英的湿法腐蚀工艺研究
对影响ST-切向石英表面湿法腐蚀质量的因素进行了试验研究，并对结果进行了详细分析。试验基片材料为双面抛光的ST-切向石英晶体，掩蔽膜材料为CrlAu双层金属膜，腐蚀液为HF和NH4F的混合溶液；主要研...

《压电与声光》 2014年5期关键词: "ST-切石英","湿法腐蚀","掩蔽膜" 收藏