外延型
更新时间:-- | 阅读量: 43

croissance extensive

搜索到与“ 外延型”相关的文献共 1条

6 英寸高均匀性P 型硅外延片的工艺研究
主要进行了6 英寸（152.4 mm）高均匀性P 型硅外延片的生产工艺研究。利用 PE-2061S 型桶式外延炉，在重掺硼的硅衬底上化学气相沉积P/P+ 型硅外延层。通过流场调节工艺、基座包硅工艺、变...

《电子与封装》 2015年9期关键词: "6","英寸","均匀性","P","型硅外延","非主动掺杂" 收藏