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foil gauge
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给出了一种声表面波(SAW)应变传感器石英基片各切向灵敏度的分析方法,以微扰理论为基础构建有限元模型计算应变量,并以此计算出SAW频率相对偏移量,分析计算不同切向下石英基片的应变灵敏度,并选取了应变灵...
《压电与声光》 2015年5期 关键词: "声表面波(SAW)","石英切向","应变传感器","微扰理论","应变灵敏度" 收藏
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