基片温度

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碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...IBD及其改进法沉积薄膜时,基片的温度在室温附近,因此基片有可能采用塑料等不耐热的材料,所以IBD法是一种很特殊且很有研究价值的方法。磁控管溅射法这 ...

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