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在离子束溅射时,将在样品表面产生各种变化,有可能导致分析误差。a....溅射对样品表面化学状态的影响溅射对样品表面的形貌和组分发生影响主要是通过离子动能的传递发生的。另外，离子和表面之间也可发生复杂的电子过程，它是造成表面化学状态变化的主 ...
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