声表器件
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吴文虬,声学家,物理教育家。曾协助魏荣爵创建了我国第一个声学教学和科研组织——南...他和研究室部分教职工一起，同心协力，从无到有建设了基本的平面工艺和测试设备，开展了研制声表面波器件与研究声表面波传播规律的工作，成为国内最早开展声表面波 ...

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声表面波器件小型化工艺中芯片的测试与改进
晶圆芯片测试，依靠探针触点与芯片电极间的机械接触，实现机一电连接和信号转换，从而完成对器件  的电参数测试。该文通过设计和加工微探卡的方式，针对探针与芯片接触触点少导致接地信号采集不完整，影...

《压电与声光》 2015年1期关键词: "探针","电参数","微探卡" 收藏