微束电子衍射

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由于物镜的球差和可能的聚焦误差,100~200keV电镜中选区电子衍射的选区准确度为0.5μm量...若采用会聚角较大的入射束,则衍射斑点变成含有丰富结构信息的衍射盘,就称为会聚束电子衍射.微衍射可获取试样中10nm量级微区的晶体学信息, ...

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