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一种半导体薄膜材料制备方法。化学束外延(CBE)是集分子束外延(MBE)和金属有机化学气相...外延在高真空中进行,进入真空生长室的金属有机化合物和非金属氢化物等气态反应剂通过几个喷口形成分子束流,直接喷向加热的衬底表面,经过吸附、表面移 ...
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