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高聚物由于大分子链很长,在加工中很容易由于力的作用沿加工方向形成某种取向。而且这...表3-11-4取向的六种基本类型取向类型取向情况结晶学元素参考元素无规平面取向无给定晶轴平行于参考平面无平无轴单平面取向给定晶面平行于参考平面平面平面轴 ...
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采用中频磁控反应溅射,提出了在TC4钛合金基片上制备c轴取向AIN薄膜的两步法工艺。利用扫描电镜分析(SEM)、X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面及断面形貌、晶体结构、表面粗糙度进...
《压电与声光》 2015年2期 关键词: "TC4钛合金","中频磁控反应溅射","两步法","AIN薄膜","声表面波(SAW)器件" 收藏
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