化学气相沉积法

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从气态金属卤化物 (主要是氯化物) 还原化合沉积制取难熔化合物粉末及各种涂层 (包括碳...操作方法如下:将工件置于氢气保护下加热至900~1100℃,然后以氢作为载流气体将四氯化钛(TiCl4)和碳氢化合物(常用甲烷和甲苯)通入反应罐中 ...

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