纳米硅薄膜
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纳米化学是用化学方法制备纳米结构材料,并研究其性能的学科。纳米科学技术使化学在结构...在二甲亚砜和硫代乙酰胺介质中制得的是具有单晶结构的Ⅱ-Ⅵ族纳米线。另外，以阳极氧化铝为模板，采用两步复型技术，制出了乙烯基修饰的SiO2有序纳米孔道陈 ...

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高温热退火方法制备纳米硅量子点薄膜材料
<p>通过等离子体增强化学气相沉积方法制备氢化非晶硅薄膜，薄膜的厚度约为200nm，再通过高温热退火处理形成致密度较好的、晶化率较高的、晶粒尺寸均匀的纳米硅量子点薄膜。<br/></p>

《科技经济导刊》 2015年28期关键词: "等离子体","高温热退火","纳米硅量子点薄膜" 收藏