氧原子
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oxygen atom

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医用分子筛制氧系统原理及常见故障分析
<p>文章重点介绍了医用分子筛制氧系统的工作原理。</p>

《科技创新与应用》 2015年31期关键词: "医用分子筛","制氧系统","故障维护" 收藏
TMA脉冲和吹扫时间对原子层沉积的氧化铝薄膜的影响
采用原子层沉积技术（ALD）进行Al

《功能材料》 2017年07期关键词: "原子层沉积"," Al2O3薄膜"," 三甲基铝"," 脉冲" 收藏
同步辐射光电离质谱检测氟原子在二氧化硅表面反应产物
采用微波放电等离子体源产生高密度F原子,结合同步辐射真空紫外光电离质谱全面检测F原子在二氧化硅表面刻蚀反应的产物,并探究其反应机理。通过扫描同步辐射光子能量,获得具有特定质量选择的离子光电离效率谱,测...

《质谱学报》 2020年01期关键词: "真空紫外光电离质谱"," 同步辐射"," 微波放电"," 氟原子"," 二氧化硅"," 电离能" 收藏