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测定半导体表面相界面的原子排列微区成分和电子态是半导体材料测量的重要内容之一。在半...这种方法是将具有多层结构的半导体材料或半导体器件做成适于透射电子显微镜分析的横断面薄膜,然后在电子显微镜内观察和分析。可用普通透射电子显微镜、高分辨电 ...
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