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离子束实际上是一种带正电的离子。其性质在某些方面类似于电子,例如可以借用电场力或...离子注入机按能量大小分为低能注入机（5～50keV）、中能注入机（50～200keV）、高能注入机（0.3～5MeV）。按束流强度分为低束流注入机、中束 ...
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