氟化工艺
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四氟化硅生产工艺研究进展
四氟化硅作为生产多晶硅及其衍生物的原料,随着电子工业的发展以及硅基产业的扩大,对于四氟化硅的需求量逐渐增加。对四氟化硅生产工艺的研究越来越引起人们的重视。详细介绍了制备四氟化硅的4种方法,含硅源物质与...

《无机盐工业》 2020年01期关键词: "四氟化硅"," 氟硅酸"," 氟硅酸盐"," 制备工艺" 收藏