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利用扫描电镜对样品的结构和性能进行分析的方法。扫描电镜的基本部件有透镜系统、......时能获得高的分辨率,商品仪器可达50埃,专用仪器可达25埃。特点之二是,利用扫描电镜的大景深可获得样品的三维形态。这对生物学、医学等特别有价值。
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《电子器件》
《电工技术学报》
《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》
《浙江大学学报(英文版)(C辑:计算机与电子)》
《固体电子学研究与进展》
《现代电子技术》
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