薄膜性质
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热氧化法中温度对Ga203薄膜性质的影响
利用干热氧化方法，对蓝宝石衬底上沉积的GaN薄膜进行热氧化处理制备出了Ga2 03薄膜，研究了氧化温度对Ga2 03薄膜的结构、形貌、氧化层厚度和化学组分的影响.X射线衍射结果显示，氧化后的GaN薄膜...

《辽宁师范大学学报（自然科学版）》 2015年3期关键词: "GaN","薄膜","Ga2","03","热氧化","氧化温度" 收藏