非晶薄膜
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Al2 03衬底上制备非晶碳薄膜及其场发射特性研究
在Al2 03陶瓷衬底上用直流磁控溅射技术沉积过渡层Mo，再利用微波等离子体化学沉积系统在Mo过渡层上制备非晶碳薄膜，利用X线衍射(XRD)、拉曼(Raman)和电镜扫描(SEM)技术分析了薄膜的结构...

《压电与声光》 2015年4期关键词: "非晶碳","场发射","Al2","03啕瓷" 收藏