软光刻

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高科技装备。长春光机所作为正负电子对撞机研制的主要参加单位,负责并研制成功的同步辐...该光刻束线的总体性能达到了80年代国际先进水平。它的研制成功,填补了我国在这一领域的空白,为我国在超大规模集成电路技术领域赶超世界先进水平提供了必要的 ...

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