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test equipment; test instrument; test device;...test facilities
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本文试验研究了一种针对空调两器检漏设备的氦气回收纯化装置,研究结果表明,该装置可以有效地将空调两器检漏设备内氦气纯度维持在80%以上,该工艺的氦气使用量约为6.7m~3/天,远小于未使用该工艺时系统因...
《真空》 2020年01期 关键词: "空调两器"," 氦气检漏"," 回收"," 纯化" 收藏
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